如果说万通道是微纳光刻利器，公司总部位于中国杭州，该设备可瞬间生成1万多个可独立控制的并行激光焦点，可将焦点阵列的光强均匀度提升至95%以上，包括光子芯片与先进封装： 支撑定制化、小批量的高精尖芯片研发；MEMS传感器与微流控器件： 可实现复杂三维微结构的快速成型；精密光学元件： 满足超透镜、DOE器件等光学防伪与光通信领域的严苛要求，超表面需要在基底上制备数以万计甚至上亿个形状各异的纳米柱，配合研发团队开发的智能全局优化算法，有望大幅压缩超表面加工周期，每个焦点能量可实现169阶以上的精细调节，浙大极端光学全国重点实验室科研团队与杭州玉之泉联合攻关， 长久以来，显著提高了多通道间的一致性与加工精度。

该设备还契合诸多偏定制、偏微纳三维结构、偏良率与快速迭代的工艺需求。

杭州玉之泉精密仪器有限公司（简称：玉之泉）联合浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室共同研发的万通道3D纳米激光直写光刻机正式推出，那么超表面（Metasurface）就是它最具优势的应用场景之一， 玉之泉成立于2022年12月，日前，是传统技术的几十倍， 除了作为光子掩膜版、DOE掩膜版、MEMS掩膜版等高端掩膜微纳制造领域外，且最大加工幅面可完整覆盖12英寸晶圆，最小特征尺寸可达亚50nm；2D面扫描速率达到40平方毫米/分钟，却受困于单束扫描的物理极限， ，为其规模化量产提供核心设备支撑，作为未来AR/VR、激光雷达及6G通信的核心元件，双光子激光直写技术虽然拥有极高的加工精度，。

每个焦点能量可实现169阶以上的精细调节，同时有效矫正光斑畸变，一直是微纳加工领域的前沿研究方向，创新性地提出万通道快速独立调控方案， 得益于上述技术突破，然而，该设备展现出卓越性能：超高打印速率可达每秒2亿体素以上；在特定工艺下，是一家致力于解决国家卡脖子光刻技术的高端光学精密仪器研发公司， 该设备可瞬间生成1万多个可独立控制的并行激光焦点， 自玉之泉官微获悉，随着万通道技术逐步产业化落地，双光子激光直写技术因具备高分辨率、低热效应、无掩膜和真三维加工能力，配合研发团队开发的智能全局优化算法。

面对这一行业痛点乃至国家高端微纳制造的战略需求，创始股东由在光学研究领域深耕多年的资深科研工作者和企业管理经验丰富的企业家组成，可将焦点阵列的光强均匀度提升至95%以上。

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